90 keV电子辐照对Kapton H薄膜化学结构的影响

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文章研究了能量为90 keV的电子辐照对Kapton H薄膜化学结构的影响.XPS分析表明,低能电子辐照导致Kapton H薄膜分子结构中C-N和C-O键的断裂,以及C=O键的断裂和重组,并且有部分键断裂后交联.随着辐照剂量及辐照能量的增加,材料中的C-N、C=O键含量减少,形成表面碳富集.辐照使柔性结构C-O键被破坏,产生的交联及以苯环为主的三维立体网状结构使其表面硬度增加.
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