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本文采用火焰水解法(FHD)在单晶Si片上快速淀积SiO2/SiO2-GcO2厚膜,再经过高温玻璃化处理,获得了玻璃态的平面波导材料。下包层SiO2膜的厚度约为40μm,波长1550nm处的折射率为1.4462,芯层SiO2-GeO2膜的厚度为5μm,折射率为1.4631。分别采用XRD、XPS、SEM和椭偏仪等对波导材料表面特性和折射率等进行了测试分析。