【摘 要】
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本文对室温下100keV Ar离子束注入到Ti-Al和Fe-Al两个二元系中几种成分的样品进行了研究。透射电镜、背散射分析和表面电阻测量被用于对多层膜离子束混合过程的分析。研究结
【机 构】
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清华大学,清华大学,清华大学,清华大学 江西大学物理系
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本文对室温下100keV Ar离子束注入到Ti-Al和Fe-Al两个二元系中几种成分的样品进行了研究。透射电镜、背散射分析和表面电阻测量被用于对多层膜离子束混合过程的分析。研究结果表明:Ti-Al二元系中能在很宽的成分范围内形成非晶相,而Fe-Al二元系中只有成分为Fe25Al75附近的样品中才观察到非晶相的形成。对这两个系统中的结果,本文进行了初步的讨论。
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