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气瓶柜是处理半导体特殊气体的重要装置。本文着重介绍了半导体气瓶柜吹洗系统的结构特点、设计要求，以及气体处理技术和安全操作。
特气气瓶柜吹洗系统
【摘 要】
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气瓶柜是处理半导体特殊气体的重要装置。本文着重介绍了半导体气瓶柜吹洗系统的结构特点、设计要求，以及气体处理技术和安全操作。
【机 构】
：
四川重庆电子工业部第２４研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1994年05期
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