【摘 要】
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研究了在脉冲酸性电镀铜工艺中，不同相对分子质量的聚乙二醇及聚二硫二丙烷磺酸钠的质量浓度以及搅拌条件对微孔直径为300μm，深径比为7．3：1的通孔填充效果的影响。结果表明，随着
【机 构】
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应用表面与胶体化学教育部重点实验室,陕西师范大学化学与材料科学学院
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研究了在脉冲酸性电镀铜工艺中，不同相对分子质量的聚乙二醇及聚二硫二丙烷磺酸钠的质量浓度以及搅拌条件对微孔直径为300μm，深径比为7．3：1的通孔填充效果的影响。结果表明，随着聚乙二醇相对分子质量增大，通孔内壁铜沉积的均匀性逐渐增大，当聚乙二醇相对分子质量为8000和12000时，通孔的均匀度达到90％以上；当镀液中聚二硫二丙烷磺酸钠的质量浓度为4～6mg／L、搅拌速率保持在700r／min时，通孔内壁上可以镀覆一层均匀的铜导电层。
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