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光学薄膜淀积的计算机仿真
光学薄膜淀积的计算机仿真
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:binics
【摘 要】
:
介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真,编写了基于Matlab的计算机仿真程序。对采用反射率极值法监法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实
【作 者】
:
杨明红
刘劲松
等
【机 构】
:
华中理工大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
薄膜淀积
极值监控法
计算机模拟
光学薄膜
thin film depositon
turning point monitoring
computer simu
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介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真,编写了基于Matlab的计算机仿真程序。对采用反射率极值法监法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致。
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