熔凝玻璃钝化技术及其应用

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chren1981
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本文介绍熔凝玻璃钝化的基本原理、工艺方法以及所制备的玻璃钝化器件的可靠性.最后对熔凝玻璃钝化技术作了评述. In this paper, the basic principle, process and the reliability of glass passivation device are introduced.Finally, the passivation technology of fused glass is reviewed.
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