【摘 要】
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针对合成孔径激光雷达光源调腔用压电换能器(PZT)长度位移进行高精度测量的需要,提出一种基于干涉图像灰度最佳估计的双光束干涉测量方法。通过合理设计算法,理论上测量分辨
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针对合成孔径激光雷达光源调腔用压电换能器(PZT)长度位移进行高精度测量的需要,提出一种基于干涉图像灰度最佳估计的双光束干涉测量方法。通过合理设计算法,理论上测量分辨率能够达到光源激光器波长的1/1 024;实验上对一管型PZT的长度位移进行了测量,精度达到10 nm量级。
In order to meet the need of high precision measurement of piezoelectric resonator (PZT) length displacement of synthetic aperture lidar, a dual beam interferometry method based on gray image of interference image is proposed. Through the reasonable design of the algorithm, the theoretical resolution of the measurement can reach 1/1 024 of the wavelength of the laser. Experimentally, the length displacement of a PZT tube was measured with the accuracy of 10 nm.
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