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硅结构中载流子浓度纵向分布的自动测量
硅结构中载流子浓度纵向分布的自动测量
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jzlh6890
【摘 要】
:
本文叙述了通过自动电化学C-V剖面图技术,在宽的掺杂和深度范围内,载流子浓度纵向分布的测量。用电化学C-V剖面图技术,可以对扩散层、离子注入层和外延层这样的硅结构,进行自
【作 者】
:
罗江财
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1989年3期
【关键词】
:
硅结构
集成电路
C-V测量
电化学
Carrier concentration
Electrochemical C-V profiling
Silicon
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本文叙述了通过自动电化学C-V剖面图技术,在宽的掺杂和深度范围内,载流子浓度纵向分布的测量。用电化学C-V剖面图技术,可以对扩散层、离子注入层和外延层这样的硅结构,进行自动的载流子浓度纵向分布描绘。它具有操作简便、分辨率高、以及能测高浓度而深度不受限制的优点。
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