【摘 要】
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本文设计了一种由压电陶瓷驱动的应变片进行检测的平面三自由度纳米定位平台，该平台采用的是平板铰链、直圆铰链及单边V型铰链导向的3-PRR结构。通过建立平台的伪刚体模型及对
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院,苏州大学机器人与微系统研究中心
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本文设计了一种由压电陶瓷驱动的应变片进行检测的平面三自由度纳米定位平台，该平台采用的是平板铰链、直圆铰链及单边V型铰链导向的3-PRR结构。通过建立平台的伪刚体模型及对其进行位姿分析，获得了平台的正、逆解。同时，运用有限元分析方法对平台进行了仿真分析。搭建了3-PRR平面三自由度纳米定位平台测试实验系统对所设计平台进行试验。实验结果显示：3-PRR平台沿x轴、y轴的行程及最大转角分别为-11.32~11.41 μm、-12.47~12.76 μm、3.63＇，对应的分辨率分别为71 nm、83 nm、1.
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