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显微观测LSI硼注入硅形成的PN结,发现横向结深大于纵向结深,用紫外荧光法检测了B<sup>+</sup>注入样品的Fe杂质沾污,研究了Fe<sup>+</sup>·B<sup>-</sup>离子“对”在SiO<sub>2</sub>边缘的横向增强扩散效应.
B~+注入沾污与Fe~+·B~-离子对的增强扩散效应
【摘 要】
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显微观测LSI硼注入硅形成的PN结,发现横向结深大于纵向结深,用紫外荧光法检测了B<sup>+</sup>注入样品的Fe杂质沾污,研究了Fe<sup>+</sup>·B<sup>-</sup>离子“对”在Si
【机 构】
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南昌大学应用物理所,南昌大学应用物理所南昌330047,南昌330047,南昌330047
【出 处】
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厦门大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年S2期
【基金项目】
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江西省自然科学基金,国家自然科学基金
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