【摘 要】
：
随着集成电路向超大规模的发展，Cu互连技术已成为硅工艺领域的热点话题，其关键技术之一——扩散阻挡层的研究越来越受到人们的关注。结合课题组阻挡层的研究工作，介绍了当前Cu互
论文部分内容阅读
随着集成电路向超大规模的发展，Cu互连技术已成为硅工艺领域的热点话题，其关键技术之一——扩散阻挡层的研究越来越受到人们的关注。结合课题组阻挡层的研究工作，介绍了当前Cu互连技术中难熔金属及其氮（碳、硅、氧）化物、多层膜、三元化合物等各类扩散阻挡层材料的研究发展现状，论述了阻挡层的厚度问题、阻挡层研究过程中的分析表征方法以及当前Cu互连的理论研究现状，归纳并分析了阻挡层的失效机制。
其他文献
目的:探讨护理干预对子宫脱Ⅰ～Ⅲ度术后恢复自主排尿的影响。方法:选择2009年9月～2011年2月我科收治的子宫脱垂Ⅰ～Ⅲ度20例患者,在术前评估患者个体排尿习惯,采用不同体位进行腹
5月1日，特斯拉宣布Model3降价为27.155万元。这样它就能够获得政府新能源补贴了。看来4月24日特斯拉宣布Model3涨价，并非其本愿。很可能是企业运营决策迟滞所致，因为它发生在政
目的:部份先天性甲减新生儿伴有生理性黄疸消退延迟。本文探讨了其发生与甲减程度的关系。方法:新生儿经时间分辨荧光免疫法筛查,血清TSH>9μIU/ml者,以电化学发光法检测血清
近日，在由中国戏剧文化管理协同创新中心主办的国际演出制作管理大师班上，来自英国国家剧院的联合执行经理史蒂夫·雷贝克带来了精彩演讲，本文即演讲精华内容。史蒂夫·雷贝克从
金融支持在产业发展中扮演着不可或缺的角色。新能源产业作为国家七大战略性新兴产业之一,依赖现有的金融支持渠道却呈现出供过于求的产能过剩现象。实现资源优化配置,解决产
<正>按摩是依照中医理论,遵循经络脏腑调和原理,结合西医的诊断方法,利用一定的经验、手段,在人体体表特定的穴位采取点颤按压推拿的方法,藉此平衡机体生理、调节病理状况,达
宜春明月山月亮文化节暨经贸活动周是宜春市委市政府从2007年中秋时节着力打造的江西省重大节庆商贸活动,迄今已举办两届,均由16个独具魅力的子项目活动组成。月亮文化节的成
<正>教学内容:人教版小学数学二年级上册第76页例2、例3。教学目标:1.通过观察、操作等多种活动初步建立"倍"的概念,经历"倍"的概念的初步形成过程;明白"一个数的几倍"的具体
目的:评价晚期非小细胞肺癌(NSCLC)诱导化疗后给予吉非替尼单药维持治疗的临床价值。方法:2002年5月～2005年2月,晚期NSCLC患者根据最后一个化疗方案疗效分为两组,疗效为部分缓
目的探讨老年进展期胃癌患者的预后及影响预后的因素。方法回顾性分析2010年1月至2012年12月174例≥70岁接受化疗的进展期胃癌患者的临床资料,生存分析采用Kaplan-Meier法,多