【摘 要】
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以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料 ,以乙二醇独甲醚为溶剂 ,采用溶胶凝胶法成功地配制出了BaTiO3 溶胶 ,溶胶清晰稳定 ,保存时间长。并用XRD分析了沉积在Si(1 0 0 )低阻硅片上
【机 构】
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以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料 ,以乙二醇独甲醚为溶剂 ,采用溶胶凝胶法成功地配制出了BaTiO3 溶胶 ,溶胶清晰稳定 ,保存时间长。并用XRD分析了沉积在Si(1 0 0 )低阻硅片上的薄膜的结构 ,发现薄膜在 60 0℃时结晶状态已良好。文中同时对薄膜的介电性质进行研究 ,并讨论了退火温度对薄膜介电性质的影响。
BaTiO3 sol was successfully prepared by sol-gel method using tetrabutyl titanate and barium acetate as the main raw materials, ethylene glycol monomethyl ether as solvent, and the sol was clear and stable and stored for a long time. The structure of the films deposited on Si (100) low resistivity silicon wafers was analyzed by XRD. The results show that the films have good crystallinity at 600 ℃. In the meantime, the dielectric properties of the films are also studied, and the influence of annealing temperature on the dielectric properties of the films is discussed.
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