Y旋转切割石英基片上的准纵漏表面声波

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在理论和实验上对Y旋转切割石英基片上的准纵漏表面声波(快速声表面波)的传播特性作了比较全面的研究。准纵漏表面声波的相速度可以达到6200m/s~7100m/s,是常规声表面波相速度的两倍,接近纵波速度。理论计算和实验结果均表明:在Y旋转切割石英基片的某些传播方向上,准纵漏表面声波的束偏向角和延迟温度系数均较小。例如,沿欧拉角(0°,155.25°,42°)方向的准纵漏表面声波的相速度和延迟温度系数的实验测量值分别为6201m/s和12.9 ppm/℃。实验还表明,放置于基片表面的液体对准纵漏表面声波的吸收不大,说明此种声波质点振动集中在传播方向(沿表面方向),具有纵波的性质。 In theory and experiment on the Y-cut quartz substrate quasi-leaking surface acoustic wave (SAW) propagation characteristics made a more comprehensive study. The phase velocity of the quasi-leaking surface acoustic wave can reach 6200m / s ~ 7100m / s, which is twice of the conventional surface acoustic wave velocity and close to the longitudinal wave velocity. Theoretical calculations and experimental results show that the beam deflection angle and the delay temperature coefficient of the quasi-leaking surface acoustic waves are small in some propagation directions of Y-rotating quartz substrates. For example, experimental measurements of the phase velocity and retardation temperature coefficient of quasi-leaking surface acoustic waves along the Euler angles (0 °, 155.25 °, 42 °) are 6201 m / s and 12.9 ppm / ° C, respectively. Experiments also show that the liquid placed on the surface of the substrate is not greatly absorbed by the surface acoustic wave of the longitudinal leakage surface, indicating that the vibration of the acoustic particle is concentrated in the propagation direction (along the surface direction) and has the property of longitudinal wave.
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