高压功率晶体管的纵向结构设计

来源 :上海微电子技术和应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenyingtg
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本文给出高压功率晶体管的纵向结构设计,可以为器件的工艺设计提供依据,以及选择实施的工艺方案。
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