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高压功率晶体管的纵向结构设计
高压功率晶体管的纵向结构设计
来源 :上海微电子技术和应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenyingtg
【摘 要】
:
本文给出高压功率晶体管的纵向结构设计,可以为器件的工艺设计提供依据,以及选择实施的工艺方案。
【作 者】
:
孔德平
张本袁
【出 处】
:
上海微电子技术和应用
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
功率晶体管
结构
设计
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本文给出高压功率晶体管的纵向结构设计,可以为器件的工艺设计提供依据,以及选择实施的工艺方案。
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