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牺牲层腐蚀技术是利用半导体加工技术制作微型机械的重要加工手段，通过对该项技术的深入研究，全面了解和掌握牺牲层材料的腐蚀特性，为制造精度较高、结构复杂的微型结构提供条件。同时本文研制开发了腐蚀工艺实时监测与数据处理系统，为开展微型机械ＣＡＤ及ＣＡＭ技术研究奠定基础。
微型机械牺牲层腐蚀技术研究
【摘 要】
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牺牲层腐蚀技术是利用半导体加工技术制作微型机械的重要加工手段，通过对该项技术的深入研究，全面了解和掌握牺牲层材料的腐蚀特性，为制造精度较高、结构复杂的微型结构提供条件
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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