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采用在平焦场光栅谱仪后面分段记录光谱的办法成功地实现了软Ｘ光多层膜反射镜反射率的测量，实验观察了反射镜反射特性随入射角变化情况，同时对实验测量误差进行了分析。
X光多层膜反射镜反射特性实验研究
【摘 要】
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采用在平焦场光栅谱仪后面分段记录光谱的办法成功地实现了软Ｘ光多层膜反射镜反射率的测量，实验观察了反射镜反射特性随入射角变化情况，同时对实验测量误差进行了分析。
【机 构】
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上海激光等离子体研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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中国工程物理研究院青年科学基金
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