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本文介绍利用ＣＣＤ扫描方式检测光学码盘刻线线宽及线间距的系统组成及其误差分析。
特殊光学码盘刻线线宽测量仪
【摘 要】
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本文介绍利用ＣＣＤ扫描方式检测光学码盘刻线线宽及线间距的系统组成及其误差分析。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2000年1期
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