氧离子和氮离子共注入硅形成绝缘埋层的微观结构...

来源 :电子科学学刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wjz_512

【摘要】

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本文利用俄歇能谱和红外吸收谱研究了硅中O~+(200keV,1.8×10~(18)/cm~2)和N~+(180keV,4×10~(17)/cm~2)共注入、并经1200℃、2h退火后所形成的绝缘埋层的微观结构及

【作者】

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俞跃辉林成鲁朱文化邹世昌卢江

【机构】

：

中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,中国科学技术大学结构分析开放研究实验室

【出处】

：

电子科学学刊

【发表日期】

：

1991年5期

【关键词】

：

离子注入绝缘埋层微观结构光学 O+ and N+ co-implantation Buricd insulation laycr Microstructu

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本文利用俄歇能谱和红外吸收谱研究了硅中O~+(200keV,1.8×10~(18)/cm~2)和N~+(180keV,4×10~(17)/cm~2)共注入、并经1200℃、2h退火后所形成的绝缘埋层的微观结构及其光学性质。结果表明:O~+和N~+共注入所形成的绝缘埋层是由SiO_2相和不饱和氧化硅态组成;在氧化硅埋层的两侧形成氮氧化硅薄层;表面硅-埋层的界面和埋层-体硅的界面的化学结构无明显差异。通过对波数范围在5000—1700cm~(-1)的红外反射谱的计算机模拟,得到了该绝缘埋层

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