退火对GDa—SiNx:H材料光电导的影响

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heroLi1126
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本文研究了退火对辉光放电制备的非晶氮化硅(GD a-SiN_x∶H)材料光电导的影响、用光电导的方法给出材料的吸收系数、带尾态宽度等参数,指出退火是消除无规堆垛引起的局域态的有效方法。
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