【摘 要】
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利用计算机对不同运动轨迹下ZnS头罩外表面膜厚分布进行了模拟,优化出头罩的最佳运动轨迹,在该轨轨迹下采用射频磁控反应溅射(RRFS)法进行头罩镀膜,能够得到满足使用要求的薄
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利用计算机对不同运动轨迹下ZnS头罩外表面膜厚分布进行了模拟,优化出头罩的最佳运动轨迹,在该轨轨迹下采用射频磁控反应溅射(RRFS)法进行头罩镀膜,能够得到满足使用要求的薄膜厚度均匀性.实验结果表明,头罩外表面薄膜厚度不均匀性小于10%，双面镀膜后,8～11.5μm波段平均透过率从69.6%提高到87.2%以上,透过率的不均匀性小于1.2%,满足了红外应用中对ZnS头罩的要求.
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