【摘 要】
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本文介绍了一种改进型的微波等离子体增强辉光放电（ＭＰＥＧＤ）光源，对这种级联光源中的工作气体Ａｒ的光谱特性进行了较详细的考察，对单纯微波等离子体放电，单纯辉光放电以及微波等离子体增强辉
【机 构】
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吉林大学化学系,吉林大学科教仪器厂
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本文介绍了一种改进型的微波等离子体增强辉光放电（ＭＰＥＧＤ）光源，对这种级联光源中的工作气体Ａｒ的光谱特性进行了较详细的考察，对单纯微波等离子体放电，单纯辉光放电以及微波等离子体增强辉光放电的Ａｒ谱线进行了研究，并讨论了微波功率等的影响。认为这种微波等离子体增强辉光放电光源在对中低能级跃迁产生的谱线有明显的增强作用。
In this paper, an improved microwave plasma enhanced glow discharge (MPEGD) light source is introduced. The spectral characteristics of the working gas Ar in this cascaded light source are investigated in more detail. Pure microwave plasma discharge, Optical discharge and microwave plasma enhanced glow discharge Ar line was studied, and discussed the impact of microwave power and so on. It is considered that this kind of microwave plasma enhanced glow discharge light source can obviously enhance the spectrum generated by transitions of low and medium energy levels.
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