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采用超声喷雾热分解法，室温下在玻璃衬底上沉积了N—Al共掺杂的P型ZnO薄膜。采用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征，结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的ZnO薄膜，表面均匀，结构致密，具有强烈的呈C轴垂直于衬底的（002）择优取向。对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试，并对薄膜的光致发光性能进行了研究。