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多晶硅生产中硅芯氧化问题探究
多晶硅生产中硅芯氧化问题探究
来源 :云南化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:herirong
【摘 要】
:
改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的
【作 者】
:
宋张佐
刘阳赞
蔡永明
周万礼
【机 构】
:
云南能投化工有限责任公司
【出 处】
:
云南化工
【发表日期】
:
2019年2期
【关键词】
:
多晶硅
硅芯
氧化
措施
polysiliconsilicon coreoxidationmeasure
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改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的一大问题。分析了硅芯氧化机理,针对相关因素开展了试验,提出了降低硅芯氧化率的措施。
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