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多层溅射方法制备WSix/Si薄膜技术研究
多层溅射方法制备WSix/Si薄膜技术研究
来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dashaomai
【摘 要】
:
采用多层溅射技术制备了不同成分的WSix/Si薄膜,然后利用真空退火形成硅化钨.对用此技术制备的难熔金属硅化物的结构特性、电学特性和氧化特性进行了系统的研究.结果表明这种技术具有以
【作 者】
:
王晓平
赵特秀
施一生
季航
梁齐
【机 构】
:
中国科学技术大学,江苏盐城师专
【出 处】
:
中国科学技术大学学报
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
多层溅射
XRD
硅化钨
薄膜
硅
silicide
multilayer sputtering
XRD PACS(1992) 73.50.-h
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采用多层溅射技术制备了不同成分的WSix/Si薄膜,然后利用真空退火形成硅化钨.对用此技术制备的难熔金属硅化物的结构特性、电学特性和氧化特性进行了系统的研究.结果表明这种技术具有以下特点:可以通过控制成分得到不同晶格结构的硅化物薄膜,可在硅衬底上形成浅接触,还可以防止金属钨的氧化.
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