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选取极薄TiO2作为过渡层，采用脉冲激光沉积法分别在Si（100）和Pt（111）／Ti／SiO2／Si（100）基底上制备了Ba0．6Sr0．4TiO3（BST）薄膜，研究过渡层对BST薄膜微结构及电学性质的影响。发现厚度20纳米以内的锐钛矿相结晶TiO2过渡层可使BST薄膜由无规则取向转变为（111）择优取向，而非晶和较厚TiO2过渡层对BST薄膜的取向无影响。结晶的TiO2过渡层也使薄膜的表面颗粒变细。还研究了不同厚度TiO2对BST薄膜电学性质的影响，结果表明BST薄膜在Pt（111）底电极上加入