【摘 要】
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一种新型的热隔离式微机电系统的气体质量流量传感器,其内部的结构为加热电阻器和上下游测温电阻器集合,本身采用的是隔离悬梁式的结构,器件间隔240μm,并在此过程中要对恒温
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一种新型的热隔离式微机电系统的气体质量流量传感器,其内部的结构为加热电阻器和上下游测温电阻器集合,本身采用的是隔离悬梁式的结构,器件间隔240μm,并在此过程中要对恒温差的电路设计要点进行全面分析,并最终制作系统电路。在经过测试并得出相应的结果之后,我们可以得知传感器本身的相应速度非常高,而且输出的信号非常平滑,因此非常适合在工业和医疗领域进行运用。
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