【摘 要】
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为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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科学挑战计划专题资助（No.JCKY2016212A5060504）,中国工程物理研究院质量与可靠性共性技术基础课题（No.80540）.
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为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生“连续白线”状深缺陷,其深度达22μm。为抑制砂轮边缘位置加工应力集中现象,设计了“中央平直线＋两侧边缘圆弧过渡”的复合式截面轮廓,并提出了相应的修整方法。通过砂轮修整实验,验证了该方法的可行性,磨削元件“连续白线”状深缺陷得到明显改善,亚表面缺陷深度小于2.5μm,实现熔石英元件的低缺陷磨削加工。
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