【摘 要】
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从光学薄膜的基本观点来看,最重要的是薄膜结构。光学的、机械的以及热变形等的光学薄膜特性完全取决于所采用的光学薄膜结构。从膜的晶体学观点看,希望得到单晶或完全非晶的
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从光学薄膜的基本观点来看,最重要的是薄膜结构。光学的、机械的以及热变形等的光学薄膜特性完全取决于所采用的光学薄膜结构。从膜的晶体学观点看,希望得到单晶或完全非晶的结构,但是,一般情况下,要想得到单晶膜是很困难的,即使能得到,与制造成本相平衡的例子极其稀少。因此,首先考虑非晶光学薄膜,在大多数应用中,其柱状结构的空隙上的水蒸气吸附不随时间变化,所以这是所希望得到的特性。
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