【摘 要】
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利用多弧离子镀技术制备类金刚石膜,研究不同偏压频率对类金刚石膜组成和性能的影响。采用扫描电镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱(XPS)和纳米压痕仪对类金刚石膜进行分析,结果表明:偏压频率对类金刚石沉积的膜厚没有影响,但沉积粒子团簇尺寸随着偏压频率的增大而减小;当偏压频率为3kHz时,沉积粒子团聚严重且颗粒较大,表面质量较差。经类金刚石膜拉曼光谱分析得出:低频时的ID/IG比高频时低,XPS结果进一步证明偏压低频沉积类金刚石膜的SP~3含量高于高频区。纳米压痕测试结
【机 构】
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浙江理工大学,台州学院先进涂层材料研究所,齐鲁工业大学
【基金项目】
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浙江省自然科学基金台州市联合项目(TZ20E020001)。
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利用多弧离子镀技术制备类金刚石膜,研究不同偏压频率对类金刚石膜组成和性能的影响。采用扫描电镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱(XPS)和纳米压痕仪对类金刚石膜进行分析,结果表明:偏压频率对类金刚石沉积的膜厚没有影响,但沉积粒子团簇尺寸随着偏压频率的增大而减小;当偏压频率为3kHz时,沉积粒子团聚严重且颗粒较大,表面质量较差。经类金刚石膜拉曼光谱分析得出:低频时的ID/IG比高频时低,XPS结果进一步证明偏压低频沉积类金刚石膜的SP~3含量高于高频区。纳米压痕测试结
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