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EQ—10HR是满足高量产EUV光刻的光源，工作频率为10kHz。无电极z箍缩通过感应耦合连接电流与放电等离子体，使得等离子体更加稳定可控。
EUV光源
【摘 要】
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EQ—10HR是满足高量产EUV光刻的光源，工作频率为10kHz。无电极z箍缩通过感应耦合连接电流与放电等离子体，使得等离子体更加稳定可控。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年6期
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