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空调行业在两器生产过程中需要使用氦质谱检漏仪对两器产品进行氦检,检漏过程中使用的氦气通过回收装置循环使用。当循环使用的氦气纯度较低时进行排空并补充高纯度氦气,以提高检漏过程中的氦气纯度。针对排空的低纯度氦气,为满足氦气检漏纯度要求,通过纯化可以将其纯度提高,实现氦气在空调两器检漏过程中的循环使用。