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研制了一种激光单光点式三角法测头，以半导体激光器作光源，位置敏感器件为光电转换器件，测头的测量分辨率２μｍ，测量范围１０ｍｍ。适于对工件，模型表面轮廓或位移量进行快速在线测量，对测头结构进行了优化分析，对牙模型的三维形貌进行了实例。
激光三角法轮廓测量
【摘 要】
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研制了一种激光单光点式三角法测头，以半导体激光器作光源，位置敏感器件为光电转换器件，测头的测量分辨率２μｍ，测量范围１０ｍｍ。适于对工件，模型表面轮廓或位移量进行快速在线测量，对测头结
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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1995年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金,天津市自然科学基金
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