激光三角法厚度测量仪的设计与研究

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设计了一套精度高、稳定性好的基于PSD的激光三角法厚度测量仪,介绍了系统的软硬件设计。其中PSD运放电路设计的过程中主要解决了数/模信号干扰、环境光影响、电源滤波、放大倍数可调等关键问题。最后,采用标定测量法,对处于不同位置处的同一被测物厚度进行反复测量。相对精度达到了1%,且稳定性好。
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