【摘 要】
：
针对极紫外光刻照明系统中一块小尺寸反射镜大入射角带宽的需求,采用Si层有效厚度与公转速度关系式和多层膜周期厚度与公转速度关系式,完成了宽带Mo/Si多层膜设计膜系的制备
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院大学,吉林大学物理学院,
论文部分内容阅读
针对极紫外光刻照明系统中一块小尺寸反射镜大入射角带宽的需求,采用Si层有效厚度与公转速度关系式和多层膜周期厚度与公转速度关系式,完成了宽带Mo/Si多层膜设计膜系的制备工作。在磁控溅射镀膜机上制备了一系列不同周期厚度和G值(Mo层厚度与多层膜周期厚度的比值)的Mo/Si多层膜规整膜系,并利用掠入射X射线反射谱表征,分别得到多层膜周期厚度、Mo层有效厚度和Si层有效厚度与公转速度的关系式以及多层膜界面粗糙度。采用Levenberg-Marquardt算法完成了宽带膜系设计,设计结果为在16.8°~24.8°范围内R=42%±1%。根据Mo/Si多层膜周期厚度和Si层有效厚度与公转速度的对应关系制备所设计的膜系,并对其极紫外波段反射率进行测量,实验结果为在16.8°~24.8°范围内R=41.2%~43.0%,实验结果与设计结果吻合得很好,进一步的制备误差反演分析表明实验结果与设计结果之间的细微偏差主要来自Mo/Si多层膜G值及界面粗糙度标定过程中的系统误差。
其他文献
<正>一、我国应保持适度的资本流动管制政策鉴于跨境短期资本无序流动所可能带来的风险,有一种观点认为,为减少隐性资本流入现象,实现资本流动的风险可见和风险可控,逐步开放
本文以2007年至2009年沪深两市A股上市公司为研究对象,对资本结构、金融负债及经营负债与企业绩效的关系进行实证研究。结果表明:上市公司负债与绩效之间是条件约束下的相对
利用全固态单频绿光激光器作为抽运源抽运钛宝石晶体,采用六镜环形谐振腔结构。在谐振腔内插入I类临界相位匹配的LBO晶体进行腔内倍频,TGG晶体和宽带半波片(HWP)组成的光学单
常规教学中把明治维新与戊戌变法在"结果"方面进行对比,而笔者在实际明治维新(背景)的教学中不比结果比背景,通过四次递进式的对比加深了学生对明治维新(背景)的理解,也使学
石油炼制业是国民经济的支柱行业,直接关系到整个国民经济的发展,它不仅提供各种石油产品,同时也为石油化工、化纤、化肥等工业提供原料。同时,石油炼制业也是污染物排放大户
核电汽轮机高压缸的通流部分大部分处于湿蒸汽区。高压缸的回热抽汽及排汽的湿度和焓值尚无准确的确定方法,从而不能准确计算汽轮机的相对内效率等热力经济型指标。此外湿度
高等教育由原来的精英教育逐渐转变成规模化教育,这使得高校的规模不断扩大。与此同时,高校财务面临着收入相对稳定,师资建设、校区建设、后勤保障等成本日趋增加的局面,而且
雉鸡又名山鸡（商品名），试验研究了中国雉鸡的种蛋蛋形指数、种蛋的重量以及颜色对孵化效果的影响。将雉鸡蛋形指数、蛋重各分为4个组，将雉鸡蛋色分为3个组，并进行孵化对比试验。试
为了调动学生的实验积极性,理解电路的分析方法,提高学生进行设计型实验的兴趣,将Matlab/Simulink引入到电路实验教学中。以电路实验中的电路定律实验为例,通过matlab编程及S
根据湿蒸汽汽轮机的特点，重点分析了蒸汽在叶栅中的膨胀凝结过程，探讨了利用自发凝结成核理论计算高压缸排汽中水滴平均直径的近似方法。结合秦山核电站６４２ＭＷ汽轮机的工作参数，得出了