ATO粉体的水基溶胶-凝胶法合成工艺研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mingxing10192009
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采用水基溶胶-凝胶法合成了锑掺杂二氧化锡(ATO)粉体。采用X射线衍射(XRD)、能谱仪(EDS)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及X射线光电子谱(XPS)对粉体进行了表征,探讨了ATO溶胶的制备工艺以及锡锑摩尔比(nSn/nSb)对溶胶粒度和烧结粉体的形貌与物相的影响。结果表明:溶胶合成的较优条件为溶胶浓度=0.1 mol/L,水浴温度=50℃,p H=7,nSn/nSb=90/10。锡锑摩尔比对粉体的物相结构无影响。ATO粉体在nSn/nSb低于95/5时出现球形及棒状形态,其中Sn元素与Sb元素分别以Sn4+、Sb5+和Sb3+的形式固溶于粉体中。
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