【摘 要】
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本文对多弧离子镀在不锈钢板上沉积TiN涂层的均匀性进行了研究,分析了影响涂层均匀性的主要因素。结果表明,弧基距、磁场强度、气体压力及基片温度对涂层的均匀性起着决定性
【机 构】
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本文对多弧离子镀在不锈钢板上沉积TiN涂层的均匀性进行了研究,分析了影响涂层均匀性的主要因素。结果表明,弧基距、磁场强度、气体压力及基片温度对涂层的均匀性起着决定性的作用。
In this paper, the uniformity of TiN coating deposited on stainless steel by multi-arc ion plating was studied and the main factors affecting the uniformity of coating were analyzed. The results show that arc base distance, magnetic field strength, gas pressure and substrate temperature play a decisive role in the uniformity of the coating.
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