【摘 要】
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本文叙述了用低温吸附制备超高纯氮的方法,以高纯氮为原料气,通过吸附、反应、过滤等工艺,进一步纯化,可得99.9999%的超高纯氮.
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本文叙述了用低温吸附制备超高纯氮的方法,以高纯氮为原料气,通过吸附、反应、过滤等工艺,进一步纯化,可得99.9999%的超高纯氮.
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