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本文叙述了用低温吸附制备超高纯氮的方法，以高纯氮为原料气，通过吸附、反应、过滤等工艺，进一步纯化，可得９９．９９９９％的超高纯氮．
超高纯氮的制备
【摘 要】
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本文叙述了用低温吸附制备超高纯氮的方法，以高纯氮为原料气，通过吸附、反应、过滤等工艺，进一步纯化，可得９９．９９９９％的超高纯氮．
【机 构】
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北京市氧气厂
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1994年02期
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