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本文研究使用激光微刻蚀方法制作红外热敏悬浮微桥的新工艺。用激光微刻蚀法制作了铂／聚酰亚胺热敏悬浮微桥，对微桥初样的热敏特性进行了测试，测试结果证实所制作的热敏微桥具有较好的热隔离性能。
激光微刻蚀柔性红外热敏悬浮微桥研究
【摘 要】
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本文研究使用激光微刻蚀方法制作红外热敏悬浮微桥的新工艺。用激光微刻蚀法制作了铂／聚酰亚胺热敏悬浮微桥，对微桥初样的热敏特性进行了测试，测试结果证实所制作的热敏微桥具有
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2007年5期
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