【摘 要】
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用射频磁控溅射制备了一系列Ｇｅ／Ｓｉ多层膜，采用Ｘ射线小角衍射测量了不同溅射压强下制备的样品，计算出了多层膜的周期。通过计算机模拟实验曲线确定出了Ｇｅ和Ｓｉ的分层厚度，计算出了不同压强下
【机 构】
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云南大学物理系,云南大学成人教育学院
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用射频磁控溅射制备了一系列Ｇｅ／Ｓｉ多层膜，采用Ｘ射线小角衍射测量了不同溅射压强下制备的样品，计算出了多层膜的周期。通过计算机模拟实验曲线确定出了Ｇｅ和Ｓｉ的分层厚度，计算出了不同压强下的溅射速率。实验和计算机模拟都表明了在衬底温度为５９０℃、溅射功率为１５０Ｗ的溅射条件下１．５￣２．５Ｐａ氩气压强时制备出的样品周期性、均匀性和平整性都比其它压强下制备的样品好。
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