【摘 要】
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使用COMSOL Multiphysics模拟软件对多晶硅定向凝固炉内热场进行分析,将坩埚侧壁倾斜一定角度并在坩埚与护板之间的倾角间隙处添加一个内衬块,研究并分析了坩埚侧壁倾斜角为0
【机 构】
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南昌大学机电工程学院; 华东交通大学机电与车辆工程学院; 新余学院新能源科学与工程学院; 江西省高等学校硅材料重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51664047);江西省高等学校科技落地计划面上项目(KJLD12050);江西省科技支撑计划面上项目(20123BBE50116);江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ161200,GJJ161199)
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使用COMSOL Multiphysics模拟软件对多晶硅定向凝固炉内热场进行分析,将坩埚侧壁倾斜一定角度并在坩埚与护板之间的倾角间隙处添加一个内衬块,研究并分析了坩埚侧壁倾斜角为0、2°、3°、4°和5°时对多晶硅定向凝固过程中不同时期的固-液界面产生的影响。结果表明,当坩埚倾角为4°时,坩埚侧壁与底部的热通量比坩埚倾角为0时均要小,其固-液界面都较为平直,且在定向凝固中后期曲率值都较小,这有利于阻止晶粒的倾斜,保证硅锭的品质。
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