【摘 要】
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阐述了分裂频率约为100kHz的横向塞曼效应激光器及以其为光源的分辨率为10nm的动态式外差干涉仪。仪器应用了国产锁相环器件,采用了专门设计的前馈控制器,使其锁定范围从
【机 构】
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陕西机械学院精密仪器工程系,陕西机械学院精密仪器工程系
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阐述了分裂频率约为100kHz的横向塞曼效应激光器及以其为光源的分辨率为10nm的动态式外差干涉仪。仪器应用了国产锁相环器件,采用了专门设计的前馈控制器,使其锁定范围从±15%扩展到±40%,满足了仪器的技术要求。仪器填补了国内高分辨位移动态测量仪的空白。
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