论文部分内容阅读
详细介绍聚焦离子束（FIB）加工连续凹凸微光学元件的新颖方法。这种方法可微加工特征尺寸小到亚微米程度的衍射光学元件（DOEs）。FIBs直接铣削，无需增加任何其他工序，就容易地在任何基片上（金属和非金属）加工出微结构，并可加工复制微光学元件用的压模。热压花复制的DOEs，凹凸表面上2×2μm^2面积内测得的粗糙度均方根（rms）值为3nm，它比常规方法加工的5nm要好。此外，还简要介绍其他微光学元件的加工，例如微透镜压模，微柱体透镜，以及3×3DOE阵列。