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根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟和碳氢氯体低压金刚石生长的非平衡定态相图，计算与大量实验事实符合良好。
卤素原子在化学气相淀积金刚石薄膜过程中的作用
【摘 要】
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根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟和碳氢氯体低压金刚石生长的非平衡定态相图，计算与大量实验事实符合良好。
【机 构】
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复旦大学电子工程系ＣＶＤ研究室
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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863计划,国家自然科学基金
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