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本文叙述了多极磁约束的反应离子刻蚀装置。该装置具有结构简单，低损伤和各向异性刻蚀的优点。在射频率为１００Ｗ，工作压强为１．３３Ｐａ氩气氛中，典型的离子密度为）１．０－１．５）×１０＾１９ｃｍ＾－３，电子温度为１．０－４．１ｅＶ，等离子体电位１０－５０Ｖ，有磁场的离了密度比没有磁场的离子密度大几个数量级。