【摘 要】
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为提高单晶Ge位错腐蚀工艺的准确度,采用金相腐蚀观察法计算了单晶Ge的位错密度,分析了腐蚀时间、抛光条件、腐蚀温度对位错微观形貌的影响。结果表明:腐蚀时间过长或过短,位
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.51765027).
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为提高单晶Ge位错腐蚀工艺的准确度,采用金相腐蚀观察法计算了单晶Ge的位错密度,分析了腐蚀时间、抛光条件、腐蚀温度对位错微观形貌的影响。结果表明:腐蚀时间过长或过短,位错腐蚀坑形貌无法正常观测,腐蚀时间10 min时,位错腐蚀坑形貌观测效果最佳;机械抛光会产生划痕和污渍,化学抛光可以得到更光洁的材料表面,腐蚀后更易观测位错腐蚀坑形貌;相同腐蚀时间和抛光条件下,温度越高腐蚀速率越快,通过增加腐蚀温度可以有效提高腐蚀效率。
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