提高辐射剂量计用金刚石膜电学性能的研究

来源 :第十三届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiangyuchao

【摘要】

：

本文针对目前金刚石膜存在电阻率低,使辐射剂量计器件的信噪比不大、X光灵敏度较低的问题,采用优化的氧等离子体和氮等离子体对生成膜进行原位后处理.结果表明:氧等离子体处理比氮等离子体更能有效的刻蚀石墨等非金刚石成分;处理后样品生成膜的电阻率可提高至少4个数量级;优化的等离子体处理工艺能提高金刚石膜对X射线的响应.

【作者】

：

廖晓明冉均国苟立苏葆辉张进王兵

【机构】

：

四川大学,四川,成都,610065 西南科技大学,四川,绵阳,621010

【出处】

：

第十三届全国高技术陶瓷学术年会

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

金刚石薄膜等离子体处理电学性能辐射剂量计

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