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讨论一种利用双四象限探测器本身光机结构、输出电信号特性,对其接收的微小光斑进行精确测量,并可实时调整的方法.所组建的测量系统利用测量测定可旋转反射镜在特定位置的偏转角来计算弥散斑的半径,经实验,弥散斑在0.5mm±0.1mm测量范围内,分辨率可达0.0096mm(角度分辨率为1′).
双四象限探测器弥散斑测量方法研究
【摘 要】
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讨论一种利用双四象限探测器本身光机结构、输出电信号特性,对其接收的微小光斑进行精确测量,并可实时调整的方法.所组建的测量系统利用测量测定可旋转反射镜在特定位置的偏
【机 构】
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西安交通大学电气工程学院
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年8期
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