接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪

来源 :湖北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a447047964

【摘要】

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介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果. 该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比

【作者】

：

汪洁谢铁邦

【机构】

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华中科技大学机械科学与工程学院

【出处】

：

湖北工业大学学报

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

表面轮廓仪聚焦探测法激光干涉法 profilometer focus measuring method laser interferometry

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介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果. 该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比更高,应用范围更广. 该测量系统已投入实用,接触法测量范围达± 3mm,最小分辨率为0.005 μm;非接触法测量范围达±500 μm,最小分辨率为0.01 μm.

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