【摘 要】
：
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级
论文部分内容阅读
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级,指出Br_2的引入有着重要意义.给出了Br_2和H_2对Si和SiO_2的腐蚀速率曲线,讨论了外延横向生长速率对SOI结构的材料表面形貌的影响.在该 SOI膜上制造了 MOS/SOI器件,其N沟最大电子迁移率为360cm~2/V.s(沟道掺杂浓度为 1×10~(16)/cm~3),源-漏截止电流为 9
其他文献
教育部《艺术课程标准（2011年版）》明确指出,艺术课程追求的总目标是＂艺术能力和人文素养的综合发展＂,＂艺术能力＂不同于通常所说的＂艺术知识技能＂。艺术教育是要让学生具有一定的艺术
教师要在中职英语新课标的指导下，关注学生自我情感策略的运用，培养学生良好的学习心理，提高教学质量，提升中职生的人文素养和终身学习能力。
本文主要分析了大学新生的思想特点，研究了如何提升新生入学教育质量，并提出对传统新生入学教育的改革建议，以期使新生入学教育的模式更适应当代大学生的特征和需要．
鄱阳湖作为中国第一大淡水湖泊，对鄱阳湖湖区乃至整个长江中下游的生态经济和安全有相当大的影响，并且在我国的经济建设中占有很重要的地位。湖泊水环境研究的基础是其水动力的
冬枣果大，皮薄色红，肉脆计多，味香甜，成熟晚，是优良的鲜食品种。春季硬枝接是其主要的繁殖方式，生产中因对枣树特性认识不够，嫁接技术不配套，导致嫁接成活率较低，苗木繁育困难，限制了该
本文提出一种提高气敏元件灵敏度的方法，这种方法可实现灵敏度的倍增。元件结构为Ｎ－Ｐ型，元件的工作机制是互补倍增原理。研究表明，在适当表明，在适当条件下，整体气敏元件的灵敏度等于
<正>河北省山区、丘陵及平原地区酸枣分布广泛。以酸枣为砧木嫁接大枣优良品种,如鲜食品种冬枣、梨枣、辣椒枣,干制品种沧州金丝小枣、赞皇大枣,制酒品种阜平大枣,蜜制品种金
未来的文盲是什么，不再是不学习的人，而是不会学习的人，这已成为大家的共识。作为教育者，我们肩负着培养祖国未来人才的重任。所以我们的教学不能仅仅是教给学生知识。那么怎样才能在课堂教学中做到知识方法并举呢？我在指导学生自主阅读议论文教学时巧用“四步逐层扣读法”进行了这方面的有效尝试，现以《成功》一课教学为例，试谈我的主要做法： 一、“扣”文题，找论点 按照人的认知规律，我首先教学生从课题看，文章是
[基本案情]2012年3月28日，朱某行至上海市浦东新区北蔡镇莲东街76号临501室，撬门入室，窃得被害人肖某的黄金项链一根、黄金挂件一个、索尼笔记本电脑一台、天语移动电话一部等物
经过大量的实验研究,我们从材料制备、版图设计及工艺过程等方面总结摸索出了一套能够有效抑制SOS器件漏电的措施,这主要包括双固相外延技术、环形栅技术、反应离子刻蚀形成